在微电子制造、电子元器件类行业制造业中,由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局变得不可以轻易更改,初始的不合理布局结果会导致庞大的物料搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。特别是迅速发展的亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别高,所有半导体制程设备都须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这样,工厂投产以后整体生产系统才能发挥大的生产效能。
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半导体净化车间